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三氟化氯的规格和运输方式及其应用

描述


三氟化氯(ClF3)是一种腐蚀性,无色有甜味的气体,即使在低浓度时也有高度刺激性。它是强氧化性,在高温时能够点燃许多有机化合物和许多金属。遇水产生猛烈反应,在其自身压力下,被作为液化性气体运输。




规格


纯度,%99.9

氧气≤20 ppmv

氮气≤50 ppmv

硫化氢≤700 ppmv





运输


DOT 运输名称三氟化氯

DOT 分类2.3

DOT 标签毒气,氧化剂及腐蚀性

UN NO.UN 1045

CAS NO.7664-41-7

CGA/DISS670/728

运输状态液化性气体





技术信息


钢瓶状况 @ 21.1°C 液体

在空气中的燃烧极限不可燃

自燃温度 ( °C )-

分子量 ( g/mol )66.007

比重 ( 空气 =1 )3.14

临界温度 ( °C )23.85

临界压力 ( psig )823.2





应用


-在半导体工业中,三氟化氯用于清洗化学气相沉积腔室。它的优势是可以用于从室壁去除半导体材料,而不必拆卸腔室。不像大部分替代品,它不需要使用等离子体的激活,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应;


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